二手 NIKON Optistation VII #9225598 待售
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單擊可縮放
ID: 9225598
晶圓大小: 12"
Automated inspection station, 12"
With FOUP loaders
(2) FOUP Front end load ports:
ASYST ISO Port FL300
With mapper and RFID
Integrated ULPA filtration system
Air suspension vibration isolation table
Standard microscope unit with automated control
10x Eyepieces
Objective lens:
2.5x N.A 0.075 W.D 8.8 mm
10x N.A 0.300 W.D 6.50 mm
20x N.A 0.460 W.D 3.10 mm
50x N.A 0.900 W.D 0.42 mm
150x N.A 0.900 W.D 0.29 mm
Halogen lamp house: 12 V, 100 Watt
Robot and robot controller
Ceramic robot arm
Ceramic rotation arm
Macro unit (A): Wafer chuck
Macro movable uni
Slider assembly
Macro unit (B): Arched holder
Rotation unit assembly
Micro stage unit:
XY Stage / Chuck
X, Y, Z Drive units
Dart controller for image archiving and defect review
LCD Display
Keyboard & trackball
Image capture board
SONY Camera: DXC-9XX/MD.
NIKON Optistation VII是一款先進的掩模和晶圓檢測設備，具有集成的高分辨率晶圓級攝像頭、超高分辨率光學器件、先進的照明技術和精密的軟件。Optistation VII允許對用於制造半導體集成電路的掩模和晶片進行快速、準確和無損的檢查。NIKON Optistation VII憑借其先進的功能,提供了一個全面的系統,用於檢查口罩和晶片,查找缺陷、異常和模式缺陷。Optistation VII專為金屬和光掩模的光學檢查而設計，配有特別設計的顯微鏡，可容納10倍的最大視野和20.4 μ米的最大分辨率，以確保精確的檢查。一個反射率分光光度計集成用於比色測量，NIKON Optistation VII能夠檢測面罩反射、鏡面高光和其他形式的材料缺陷中的絲毫不規則性。Optistation VII也有一個高解析度的晶圓級照相機，允許在16nm的精密級對結構進行檢查。相機采用CMOS圖像傳感器，視野寬3.8mm，分辨率1.5um，最大數據速率為56Gbps。相機可以調整到各種焦距，允許被研究材料的最佳分辨率和照明。檢驗單位提供了多種先進的照明技術，包括偏振、散射和傾斜照明，可以用來研究和分析盡可能最微小的特征。NIKON Optistation VII配備了強大的圖像處理軟件，可以檢測和測量各種缺陷，如針孔、汙跡、線條和圖案缺陷。實時識別缺陷，軟件可通過定量缺陷分析創建詳細報告。Optistation VII為廣泛的行業提供了功能強大、靈活的掩模和晶圓檢測機。NIKON Optistation VII憑借其高分辨率的光學器件、先進的照明方法以及用於檢測和分析缺陷的軟件，能夠以頂級的精度和精確度對掩模和晶片進行高效的檢查。
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