二手 OSI Microvision 15 #5921 待售

ID: 5921
晶圓大小: 4", 5"
Wafer inspection system, 4" and 5" with Nikon optics.
OSI Microvision 15是一種復雜且功能強大的掩模和晶圓檢測設備,旨在檢測、分析和分類各種半導體器件中的缺陷。其先進的算法和成像功能使其能夠自動識別和分類可修復和不可比擬的缺陷,從而實現快速、準確的維護和質量保證操作。該系統包括機動化、同步晶圓傳輸單元、高分辨率顯微鏡、采集子系統和缺陷檢測子系統。該顯微鏡具有5倍變焦功能,能夠將缺陷放大到1000倍。這可以讓操作員以前所未有的細節看到和記錄缺陷,小到0.20微米!采集子系統結合顯微鏡,允許在一次掃描中對整個晶片進行成像。利用多種CMOS和CCD攝像機以及明場、暗場和斜角成像技術,準確捕捉晶圓特征的精細細節和細微差別。缺陷檢測子系統是模式識別技術、ProgRama獨特的基於現場的缺陷產品以及Metrosight專有的機器視覺算法的強大組合。這些技術使機器能夠執行檢查、識別模式缺陷、對缺陷進行分類並將其分離以進行進一步分析。然後通過工具的缺陷分類工具對收集到的數據進行分析和分類,從而能夠快速準確地分類關鍵缺陷。此後,數據被導出到基於補丁的缺陷審查站,該站為操作員提供詳細的缺陷圖像、數據分析和分類報告。使用報告工具,操作員能夠生成具有可操作信息的全面報告,以快速準確地識別和記錄有缺陷的晶片。總體而言,Microvision 15構成了自動掩模和晶圓檢查的綜合資產。利用其先進的成像和缺陷檢測技術,可以準確識別、測量和分類任何可能的缺陷。此外,它還提供強大的報告功能,使操作員能夠快速準確地分析缺陷並采取糾正措施。它是任何高性能質量保證操作的理想選擇。
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