二手 OSI VLS-1 #176092 待售

OSI VLS-1是一種全自動的自上而下（明亮場）串聯掩模和晶圓檢測設備,專為要求苛刻的半導體應用而設計。該系統能夠測量光刻掩模的關鍵光學參數，如缺陷檢測、不透明度、反射率和對比度。此外，它還能夠檢測到晶圓表面的汙染、微裂紋等非光刻缺陷。VLS-1使用亮場和暗場照明技術檢查掩模和晶片。它配備了一個先進的8軸、高分辨率XY-Motor單元，允許面罩以微米精度精確定位。該機還配備了集成放大鏡和激光掃描顯微鏡，可以在高達90微米的景深下檢查高達256 x 256微米的區域。高速、高性能的CCD攝像頭使工具能夠以非常高的靈敏度檢測到尺寸降至0.1微米的缺陷。OSI VLS-1軟件設計用於過程控制和獨立操作員控制。它與允許用戶配置參數和保存結果的數據庫資產集成在一起。軟件界面用戶友好且直觀,允許快速、輕松地設置和分析數據。VLS-1提供了關鍵掩模和晶圓生產要求所需的無與倫比的精度和靈敏度。它直觀、易於使用的界面能夠快速訪問結果,為過程控制和優化提供最大的靈活性。最後,OSI VLS-1為用戶提供了一個經濟高效的解決方案,以提高產品產量、提高吞吐量並降低與掩碼和晶圓檢查相關的成本。