二手 OSI VLS-1 #40614 待售

OSI VLS-1是一種先進的掩模和晶圓檢測設備，用於半導體制造過程中檢測光刻過程中的缺陷。檢查系統采用精密的光學技術和高分辨率成像掃描，檢測光刻工藝中使用的矽片和光掩模表面微米和亞微米大小的不規則性。VLS-1單元的核心是一個最大放大能力為五百倍的大型光學顯微鏡。這使得精確的成像能夠檢測晶圓和掩模表面最小的不規則性。為確保準確度，顯微鏡還配備了一個多LED照明機器，以實現最佳的光影對比度，以及一個用於精確測量成像規格的數字距離分隔儀。成像工具還包括自動模式識別資產，允許顯微鏡描繪圖案層的「指紋」，以及能夠識別任何可能影響生產質量的不規則性的自動缺陷檢測模型。有了這些系統，設備就能快速識別出表面可能存在的缺陷，並就問題提供快速反饋。OSI VLS-1不限於成像,因為它還包括一套全面的無損檢測（NDT）選項。該系統具有電磁感應（EMI）功能,可測試短路、過流和其他可能因光阻處理不當而導致的異常。此外,該單元還可以利用聲阻抗模式（AIM）和自動采樣器模式（ASM）進一步分析原子級的晶片和掩碼。整個機器由一個稱為ProVS的高級軟件解決方案保護和監控。此完全集成的軟件包控制映像工具的操作,提供實時性能,並實現遠程數據訪問和管理。此外,軟件還可以生成自定義報告以及檢查結果摘要。總體而言，VLS-1掩模和晶片檢查資產使用高度先進的光學技術和無損檢測選項來檢測任何可能影響光刻工藝質量的不規則性。這一模式已被證明是半導體行業的寶貴資產，並受到該領域全球品牌的信任。