二手 PARAGON Ultra 60 #9203543 待售
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單擊可縮放
ID: 9203543
Laser imaging system
Minimum pitch: 50µm
Minimum feature size: 16µm
Data resolution: 2µm (12,700 dpi)
Edge roughness (3σ): ±1µm
Registration accuracy (FTG): ±8µm
Side to side registration (3σ): 15µm
Maximum substrate size: 558mm x 660mm 22" x 26"
Maximum image size: 508mm x 609mm 20" x 24"
Substrate thickness: 0.05mm to 3mm
Imaging wavelength: UV range, 355nm
Energy range: 10-2200 mJ/cm²
Different energy settings:
500 x 400mm, 4 Symmetrical targets, 6sec load/unload
10mJ/cm² - 80 panels/hour
20mJ/cm² - 80 panels/hour
80mJ/cm² - 35 panels/hour
10mJ/cm² - 30 panels/hour
120mJ/cm² - 25 panels/hour
Applications:
IC Substrates
Solder mask
Inner layers & outer layers
Sequential build-up layers
Flex & rigid-flex PCBs
Standard configuration:
Laser system
OPFX Input
RIP Server
8GB Raster memory
Scaling system & power vacuum
System options:
Hole-free inner layer registration
Partial scaling
Wise scaling
Stamping
2D Barcode stamp
Additional vacuum customization plate.
PARAGON Ultra 60是一種高精度的掩模和晶圓檢測設備,可提供高性能產量的高級計量。該系統是專門為檢查掩模和晶片缺陷而設計的，具有很高的精度、可重復性和可重復性。該設備可以檢測與過程相關的缺陷、殘留和不合格特征。機器使用先進的成像技術，能夠成像面罩和晶片的前後兩側。這使工具能夠準確測量特征和缺陷。該資產還能夠對溫度變化、沈積和材料阻力造成的缺陷進行臨界檢測和分析。該模型對圖像和電氣測量都使用精確的自動缺陷檢測。這使設備能夠準確識別和測量因工藝變化而產生的缺陷。光學系統還能夠檢測小陣列缺陷,如細線和/或工具分辨率小於2nm的其他特征。該單元還具有用戶友好的圖形界面，具有直觀的控制面板和符合人體工程學的測量設計。這提供了簡單的操作和數據解釋，以及多種操作模式。Ultra 60配備了高達500 mm/s的超快速掃描速度,允許快速檢測和分析缺陷。機器還兼容各種格式，如SEMI P-O或其他標準格式。該工具能夠在幹燥或潮濕的環境中操作，因此適合廣泛的應用。資產還提供了一個廣泛的視野，以便於發現和測量缺陷。其用戶友好的控制面板包括一個標準的用戶界面，方便數據通信。它還包括一組內置的比較算法，可以檢測蒙版或晶圓的3D圖像上的缺失結構、打印缺陷、錯位和缺失通道。PARAGON Ultra 60旨在使用多種診斷工具,包括接觸和非接觸技術。它還能夠高精度地測量工藝或材料相關缺陷。總之，Ultra 60是一種高效可靠的掩模和晶圓檢驗模型，它提供了高性能的高級計量。其用戶友好的控制面板和寬廣的視場提供了易用性，使其適合各種應用。
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