二手 PARLEC P2500A-0387 #9266043 待售

PARLEC P2500A-0387是一種高精度光學/掃描電子顯微鏡（SEM）和掩模和晶圓檢測設備。該系統允許用戶在納米級查看和測量掩模和晶片的關鍵模式特征。P2500A-0387有一個高分辨率的SEM成像單元,用戶可以查看和測量精細的陣列特征。它配備了先進的自動晶片掃描能力，可以用來自動映射整個晶片。其自動特征提取功能可以準確檢測和測量缺陷、叠加數據的表征和特征分析。該機器能夠檢查各種面罩和晶片，從先進的工藝節點到低k介電層。此外,此工具還具有方便的用戶界面,因此用戶能夠快速高效地與數據進行交互。PARLEC P2500A-0387利用光學成像工藝進行精細特征測量.利用擴頻幹涉法、邊緣對比度法和無損紅外成像技術，實現了高精度、高精度地測量地表地形。紅外成像工藝可以檢測和測量低k材料厚度，這對於高級工藝節點至關重要。SEM成像資產包括二次電子、反向散射電子和X射線探測器。所有這些探測器都可用於測量特征形狀和尺寸參數。此外,用戶還可以使用各種樣本旋轉功能,從而能夠準確測量困難特征的3D地形。Mask&Wafer Inspection Model有強大的界面軟件，為用戶提供晶圓測量和分析的所有必要參數。它還支持各種功能強大的自動化工具,包括邊緣檢測、特征分析和叠加測量。總體而言,P2500A-0387是一種功能極其強大且精確的掩模和晶圓檢測設備。它旨在使用戶能夠在納米級測量關鍵模式特征，並能夠充分利用高級工藝節點和低k介電層。此外，其高度交互式的用戶界面和自動化功能使該系統成為任何EMS實驗室的寶貴設備。