二手 PRISM VIT-128 #293587219 待售

PRISM VIT-128是KLA-Tencor開發的PRISM系列的最先進的掩模和晶圓檢測設備。該系統能夠檢查用於制造集成電路的各種口罩和基板，並專門設計用於實現超高通量。VIT-128的強大檢查能力是由它采用的獨特技術組合而成的。在其核心位置，該單元利用一臺高分辨率的四倍納米點投影機，使其檢測分辨率低於0.1微米。配合1.3兆像素相機，該工具能夠實時檢查蒙版和晶圓缺陷的投影和背光圖像。此外，該資產的檢查速度高達每小時100K晶圓，每月超過100萬晶圓的高吞吐量。PRISM VIT-128利用可變聚焦四通道成像（FFT）和空間解析散射測量（SRS）等專利成像技術進行精確、可重復和可靠的檢查結果。這提高了模型檢測缺陷的準確性和靈敏度，從而降低了假陽性檢測的速率。此外,該設備還利用了亮場、暗場和衰減的亮場照明模式,使掩模和晶圓圖樣更好地可視化,以檢查各種層和基板。VIT-128提供了功能強大但靈活的自動化和手動缺陷審查,可以進行全面徹底的分析。它包括使用XYZ顯微鏡進行有力的基於晶片的審查，允許對復雜設備進行精確檢查和對多種缺陷類型進行精確表征。此外,該系統還包括KLA-Tencor的缺陷來源映射DOM™技術,在識別缺陷及其來源時,可實現更高的控制和準確性。最後，該單元通過使用KLA-Tencor的TotalPrint™成像機提供對缺陷地形的實時訪問。這使用戶能夠捕獲和存儲缺陷的圖像,並將其用於進一步的分析和審查。利用TotalPrint的高分辨率圖像,甚至可以比較不同檢查站之間的缺陷檢測,以便進一步進行工程驗證。總體而言,PRISM VIT-128是一種高度可靠且功能強大的掩碼和晶圓檢查工具,可提供無與倫比的缺陷檢測和表征功能。其高分辨率成像和創新缺陷審查功能使其能夠高精度檢測各種缺陷，從而確保無缺陷集成電路。