二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-930 #293625427 待售

RUDOLPH / AUGUST AXI-930
ID: 293625427
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Macro inspection system, 12" Process: Metrology 2007 vintage.
RUDOLPH/AUGUST AXI-930是為先進半導體制造而設計的最先進的掩模和晶圓檢測設備。該檢測系統能夠提供高分辨率成像和詳細的數據分析,使半導體制造商能夠快速檢測基板表面的微觀缺陷。AUGUST AXI-930利用先進的光學技術,以高性能CMOS成像傳感器為動力。這使它能夠捕獲高分辨率圖像,然後將這些圖像發送到計算機數據分析引擎進行進一步檢查和分析。RUDOLPH AXI 930的光學配置提供了寬視野和高達14 µm的高分辨率。此外,它還提供了可變的景深,使其能夠準確檢查基板的表面和側面。AUGUST AXI 930的數據分析引擎由AUGUST Wafer-Data-Explorer軟件提供動力,該軟件通過分析捕捉到的圖像,可以檢測到劃痕、毛刺、灰塵等微觀缺陷和其他顆粒汙染。該引擎可以快速檢測最小缺陷,並以圖形和統計形式提供缺陷數據,從而大大減少了用於檢查的時間,並提高了結果的準確性。RUDOLPH AXI-930的濾鏡成像單元設計用於處理各種各樣的晶圓基板和掩模。該機支持雙鏡頭成像,提供了更高的圖像質量、噪聲抑制和更高的吞吐量。此外,AXI 930的掩模檢查工具利用啟用AI的顏色檢測工具在檢查過程中識別特定類型的顆粒,並具有可調節的顏色和強度閾值,以進行微調缺陷管理。資產還配備了熱成像溶液,使其能夠檢測基板表面的溫差。該模型的設計考慮到了用戶友好性和成本效益。RUDOLPH/AUGUST AXI 930具有快速的安裝功能和逐步的說明,可在幾分鐘內輕松解壓縮和組裝。此外,它的維護和操作非常簡單,具有簡單的命令和程序配置,可以有效地使用設備並最大程度地減少停機時間。所有這些特性,加上其競爭性的價位,使AXI-930成為任何類型的半導體或掩模/晶圓制造的理想選擇。
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