二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-930 #293633971 待售

來自AUGUST Technologies的RUDOLPH/AUGUST AXI-930掩模和晶片檢測設備是一個自動化的檢測系統，旨在精確檢查和分析半導體晶片和掩模基板。其先進的光學單元提供了對粒子水平和其他表面缺陷的快速準確的檢查。AUGUST AXI-930能夠在晶片上檢測多達六個缺陷大小，最小掃描尺寸為30微米。該機器設計為在整個晶片上提供均勻的缺陷覆蓋，最大晶片尺寸為200毫米。它配備了610萬像素的本色相機，能夠以每秒1000幀的速度捕捉全畫幅圖像。RUDOLPH AXI 930具有直觀、易於使用的圖形用戶界面（GUI）,允許操作員從預設庫中進行選擇或創建自己的自定義預設設置。這些設置包括可用於調整圖像質量、分析缺陷布局和控制工具功能的濾波器和算法。GUI還允許用戶查看和註釋圖像,以及選擇感興趣的區域（AOI）和測試模式。檢查資產具有內置功能,使操作更簡單,如自動晶片加載/卸載、圖像縫合、3D模式校正模型和自動聚焦。此外，先進的光學技術允許更大的視場，從而可以檢測到100納米或更大的粒子和缺陷。RUDOLPH AXI-930可以容納多個掩模和晶片基板,並且具有自動基板對準功能,能夠快速、準確地對準多個基板。此外,還包括一個專利校準功能,通過自動在第一個和第二個視圖字段之間進行精細對齊,最大程度地減少操作員的幹預。RUDOLPH/AUGUST AXI 930 Mask and Wafer Inspection Equipment from RUDOLPH Technologies憑借其先進的光學、直觀的用戶界面、多重基板支持和自動對準功能,是半導體晶片和掩模檢測的絕佳選擇。它是半導體制造商尋找粒子水平和其他表面缺陷快速準確檢測結果的理想選擇。