二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-930 #9107569 待售

RUDOLPH/AUGUST AXI-930 Mask&Wafer Inspection Equipment將成像技術與精密的模式識別軟件相結合，支持半導體Mask和Wafer的快速高效檢測。利用先進的光學和運動控制技術,AUGUST AXI-930在整個晶片或掩模上每個顯微鏡視場檢查多達9個「模具位置」場。RUDOLPH AXI 930的自動化就緒修改能夠集成到各種工廠自動化系統中。AXI 930配備了脈沖360°激光二極管線掃描系統、目測和金屬氧化物半導體場效應晶體管（MOSFET）電流供應單元，為用戶提供了表面和邊緣檢測的單機。RUDOLPH/AUGUST AXI 930還具有可變放大倍率驅動器模塊,可根據對象的比例自動將圖像放大倍率從最小40X移動到最大500倍。AXI-930的內置漂移補償保持最佳的圖像焦點,無論晶片載荷如何受到手動處理的影響,還是晶片表面的熱梯度導致晶片位置發生任何變化。該工具的圖像采集和處理驅動程序軟件設計用於在連接以太網的PC上運行,提供全場圖像采集、顯示和圖像處理功能。圖像可以存儲為單個圖像,也可以存儲為多個圖像位圖。AUGUST AXI 930的模式識別模塊，有兩個版本，同時支持FDTD（有限差分時域）和Hough變換算法，並配有多個濾波和降噪算法來檢測半導體器件上的缺陷。RUDOLPH AXI-930還具有實時圖像處理和缺陷識別功能,使資產能夠對缺陷屬性的變化做出快速反應。此外,MetaCam軟件應用程序能夠以各種格式生成可打印的缺陷圖像,同時自動記錄每個檢查周期的結果。綜上所述，RUDOLPH/AUGUST AXI-930 Mask&Wafer Inspection Model結合了復雜的圖像分析和模式識別軟件以及先進的運動控制技術，快速準確地識別和定位半導體晶片和Mask上的各種缺陷。設備包括可變放大驅動器、實時圖像處理技術、快速模式識別系統、全場圖像采集軟件等。AUGUST AXI-930是用於識別和測量半導體晶片和掩模缺陷的先進而可靠的工具。