二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-930 #9257476 待售

ID: 9257476
晶圓大小: 12"
Macro defect inspection system, 12" With loader.
RUDOLPH/AUGUST AXI-930是為有效缺陷檢測和計量而設計的最先進的掩模和晶圓檢測設備。該系統在單個單元中提供高分辨率的圖像采集、成像放大和數據檢查,從而能夠對半導體材料進行質量控制。其模塊化設計使其成為質量保證和過程控制的高效工具。AUGUST AXI-930具有內置的高精度石英光學單元,其光學放大倍數可達7倍,適合檢查各種晶圓尺寸。它還包括一個具有多種映像功能的直觀用戶界面,允許自定義缺陷審查。先進的圖像優化工具允許操作員選擇最佳的圖像進行精確的缺陷檢測。RUDOLPH AXI 930包含高分辨率CCD相機,用於捕捉高精度圖像。它還具有發光二極管(LED)照明機,提供均勻和精確照明的成像區域均勻的光。這種LED提供了很大的動態範圍,允許用戶以最小的陰影進行精確的測量。自動校準功能縮短了設置時間,自動缺陷分類算法有助於加快過程評估。此外,自動標線補償可確保低成本的對齊和特征定位。該工具允許用戶集成用於晶圓認證的測量數據。除了上述功能外,AUGUST AXI 930還提供了集成計量數據包(MDP),其中包括一套全面的測量和分析軟件工具。這種全面的MDP工具允許跟蹤過程管理參數和控制。總體而言,RUDOLPH/AUGUST AXI 930掩模和晶圓檢驗資產是任何半導體制造、實驗室、質量控制或實驗室環境的完美工具。該模型具有強大的功能,可提供卓越的成像結果和精確的測量,從而實現最高的效率。
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