二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-935 #9275463 待售

RUDOLPH/AUGUST AXI-935是一種功能強大的掩模和晶圓檢測設備,旨在識別和防止生產缺陷。該系統提供了一系列高級功能，如雙光束非接觸成像、高速邊緣掃描、低倍率晶圓掃描和自動缺陷分類。該裝置采用350毫米晶片級，能夠測量直徑最大為8英寸的晶片尺寸。AXi機器配備了兩束光束-一束用於亮場,另一束用於暗場成像-能夠以非常高的分辨率產生圖像。可以調整光束,以便從晶片的前部和後部進行檢查。此功能允許工具在納米級識別缺陷。該資產還具有低背景、低千伏成像模型,使其能夠檢測傳統成像技術可能遺漏的細微缺陷。對於缺陷分類，AXi設備采用高速模式識別系統。這種技術即使是最復雜的表面缺陷也能精確地識別和分類。該單元還提供了自動特征識別，這使得快速準確地識別可重復的缺陷變得容易。此外,AXi機器還具有高速邊緣掃描工具,可以精確測量x軸和y軸的樣本。這使資產能夠提供卓越的尺寸精度和位置精度。高度精確的編碼器模型使設備能夠精確跟蹤掩模位置並計算出缺陷的精確大小和形狀以及表面的粗糙度。最後,AXi系統擁有直觀的用戶界面,允許用戶自定義設置並優化設備性能。它還提供增強的安全功能,以保護操作員和樣品免受危害。所有這些特性使AUGUST AXI-935成為快速可靠地檢測晶片和掩模缺陷的理想機器。