二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #293634919 待售
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RUDOLPH/AUGUST AXI-S是為半導體制造而設計的高性能掩模和晶圓檢測設備。它將高速掃描和定位精度與先進的高分辨率光學器件相結合，為識別和檢查掩模和晶片中的缺陷提供了可靠而堅固的系統。該裝置能夠以超高分辨率準確檢測和測量缺陷，提供最高級別的掩模和晶片質量保證。AUGUST AXI-S具有創新的3-D照明機與高速視線相機。其最大速度高達每秒100張圖像，最大分辨率高達6 μ m。其成像工具使用三維全向成像技術捕獲全場表面數據。然後將這些數據自動分析並關聯到缺陷識別信息,包括SEM圖像。該資產還提供方便的晶片前端裝卸和各種晶片尺寸，從200毫米到8英寸。此外，該型號還具有先進的缺陷檢測能力。它配備了廣泛的檢測算法，包括陰影成像、視覺缺陷檢測、表面簽名、圖像處理和極端模式識別。該設備還具有自主操作能力，可輕松融入現有生產流程和自動化，以提高效率。RUDOLPH AXI-S還提供了許多附加功能,例如自動化的預處理和後處理、精確的缺陷減少以及完整的晶圓制造分析功能。此外,它采用模塊化設計,可輕松適應特定的應用需求和客戶需求。總體而言,AXI-S是一個可靠且功能強大的掩碼和晶片檢查系統,提供高級特性和功能,能夠以最高效的流程實施實現最高的質量保證和產量。利用其高速、高分辨率的光學和先進的缺陷檢測算法，確保半導體制造以最高的效率和準確性進行。
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