二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #293706155 待售

RUDOLPH/AUGUST AXI-S是由AUGUST開發的最先進的掩模和晶圓檢測設備。AUGUST AXI-S系統將高端光學成像技術與綜合測量和缺陷檢測能力相結合。該單元包括一個定制的光學平臺，可以捕獲具有卓越分辨率和對比度的圖像。提供了多個放大倍數,可以詳細檢查掩模和晶片表面的大小特征。RUDOLPH AXI-S機器包括用於結構化和非結構化圖像的高級缺陷檢測算法。這些算法可以檢測到介電橋接、空隙、異物粒子、針孔、電氣短褲、條子、氣泡缺陷等異常。此外,該工具還包括內置的模式匹配功能,可用於檢測和分類蒙版和晶圓曲面上值得註意的重復模式。資產配備了直觀的用戶界面，操作員可以控制和修改攝像頭設置、照明條件、圖像增強和缺陷類型等特性。此外,用戶界面還可用於設置特定的晶圓測量值,並創建用於檢查和記錄缺陷的自定義報告。報告可以包括詳細的特征測量,如線寬和直徑,以及圖像選擇,以便進一步參考或分析。AXI-S模型還包含許多自動化功能,可提高測量結果的重復性和準確性。這些功能包括自動圖像縫合、批處理、自動缺陷分類以及陰影掩碼功能,可輕松覆蓋和比較多個圖像。總體而言,RUDOLPH/AUGUST AXI-S掩模和晶片檢查設備是一種功能強大且易於使用的系統,能夠執行高級光學檢查。該設備的先進技術和自動化功能允許對掩模和晶片缺陷進行高速、可重復和準確的評估,使其非常適合質量控制和生產環境。