二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9245775 待售

RUDOLPH / AUGUST AXI-S
ID: 9245775
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Wafer inspection system, 12" 2005 vintage.
RUDOLPH/AUGUST AXI-S是一種先進的掩模和晶圓檢測設備,旨在為每個工藝步驟的產量分析提供精確的測量。它可以識別隱藏的缺陷,允許用戶在發生災難性事件之前發現潛在的質量風險。AUGUST AXI-S系統主要有三個部分:一個考站、一個成像單元和分析軟件。考場設有六RUDOLPH AXI-S運動定位機、內置光學、電動機、精密級。成像工具可以檢測樣品表面的地形變化和缺陷。它由3.5兆像素CCD相機、LED照明控制和放大光學元件組成。AXI-S可以測量樣品表面上的各種參數,如厚度、電阻率、蝕刻速率、形狀和輪廓。要測量的數據是通過掃描曲面收集的。分析軟件隨後將這些數據處理成對質量和產量評估有用的信息。該資產被設計為易於使用和測量小型結構的高度精確。它既可以識別表面缺陷,也可以識別地下缺陷,並具有多功能能力,可以在玻璃、矽、聚合物和金屬等材料上進行測量。對於控制質量,RUDOLPH/AUGT AXI-S具有軟件控制光學、快門控制、光源選擇、可變視角、自動對焦模式等幾個功能。此外,該模型還包括XY-Z級、自動校正設備和參數測試模塊等附件。這些用於提高準確性和促進高效操作。憑借高精度和靈活性,AUGUST AXI-S可以通過提高產量為用戶節省時間和金錢。此外,系統數據可用於進一步的產量分析,使其成為提高產量的理想工具。
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