二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9248722 待售

RUDOLPH/AUGUST AXI-S是一種掩模和晶圓檢測設備，設計用於提供高效可靠的結果。它是一個功能齊全的工具，將高分辨率成像技術與先進的模式識別和缺陷分析工具相結合，提供詳細準確的檢查。該系統采用掃描電子顯微鏡（SEM），能夠將晶片表面放大到3000倍，能夠支持多種圖像分辨率。掩模和晶圓檢測單元配備了兩個光學系統，一個用於低分辨率成像，一個用於高分辨率成像。低分辨率成像機的圖像尺寸可達600 μ m × 600 μ m，可將晶片表面放大至3000倍。高分辨率成像工具的圖像尺寸可達50 nm × 50 nm,可將晶片的表面放大至2048倍。掩模和晶圓檢測資產采用了一種模式識別算法，該算法旨在檢測微觀缺陷並測量其大小和形狀。該算法能夠對1000納米以下的晶圓表面進行檢測，並能夠檢測50納米以下的特征大小。該模型還能夠分析缺陷並將其與有意的特征或結構區分開來。掩模和晶片檢測設備有兩種先進的缺陷分析工具。第一種是缺陷分類算法，它允許根據大小、形狀和類型自動分類缺陷。二是可以測量特征和缺陷大小和形狀的缺陷測量算法。這兩種算法都非常精確,並提供高吞吐量以獲得高效的結果。AUGUST AXI-S是用於掩模和晶圓檢查的強大工具。它可以提供高達3000倍的晶圓表面的詳細圖像，並且可以檢測到高達50納米的特征大小。它具有先進的模式識別和缺陷分析算法，能夠準確檢測微觀缺陷並根據其形狀進行分類。它還具有兩種高通量缺陷分析工具，可以快速分析缺陷並提供可靠的結果。