二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9270886 待售

AUGUST-RUDOLPH/AUGUST AXI-S是一種專門的掩模和晶片檢查設備，設計用於檢查二維（2D）電子掃描掩模和三維（3D）晶片中的缺陷。它結合獨特的光學成像和基於計算機的分析，檢測晶圓和掩模表面印刷或蝕刻圖樣中的亞微米尺寸缺陷。AUGUST AXI-S系統包括一個定制設計的光學顯微鏡、一個圖像切割設備、一個串行端口、一個掃描儀、一個顯示監視器和一個計算機處理器以及一個用於圖像捕獲、切割和分析的相關軟件。在一次檢查中，用廣域顯微鏡在一個小區域上掃描一個照明樣品表面。光學顯微鏡使用可見光和紫外線（UV）光源的組合，以多角度和放大倍數捕捉圖樣的數字圖像。通過軟件將圖像切成薄片,並對其進行檢查以定位任何缺陷。然後利用專門的算法對圖像進行分析，對缺陷進行定位和分類。除了檢查掩模和晶片，RUDOLPH AXI-S單元還具有實時捕捉圖像和圖樣的能力。這是通過使用實時成像機完成的，該機由攝像頭、編碼器和幀抓取器組成。利用此功能,可以同時從不同來源獲取圖像,從而實現模式和缺陷的同時比較。此外，該工具還提供了自動圖像捕獲、模式識別、缺陷確認、實時統計分析等高級功能。最後,AXI-S資產旨在實現最高的準確性和效率,並滿足最苛刻的質量要求。它對機械沖擊、振動和磁場具有很高的抵抗力，具有適應各種采樣環境的能力。RUDOLPH/AUGUST AXI-S模型利用其先進的技術可以檢測晶片和掩模中的亞微米尺寸缺陷。而且憑借其用戶友好的界面，它易於使用和操作。