二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9270934 待售

RUDOLPH/AUGUST AXI-S是一款功能齊全的掩模和晶圓檢測設備，旨在滿足半導體行業的需求。這一先進的系統采用了獨特的、結合了自動光學成像、X射線熒光光譜、統計過程監測和自動缺陷分析，以提供對關鍵IC結構的高分辨率檢查和評估。該單元的自動光學成像組件結合了亮場、斜向和軸向成像技術,以高分辨率和準確性分析IC特征。這樣可以確保即使是微弱的圖像或特征圖樣也可供立即檢查和分析。此外，該機器的X射線熒光光譜能力提供詳細的信息，元素組成的設備的特點。這對於評估雙大馬士革金屬線、挖溝、蝕刻、金屬合金成分以及可能影響裝置性能的任何其他結構特征的存在是有益的。除了光學成像和X射線熒光光譜，AUGUST AXI-S還提供了強大的統計過程監控。這使它能夠捕獲、存儲和分析60多個質量保證數據參數。這有助於確定、跟蹤和分析設備參數的趨勢。有了這種功能,就可以在對產品質量或可靠性產生重大影響之前快速發現和解決潛在問題。最後,該工具的自動化缺陷分析功能可縮短測試周期並提高吞吐量。資產檢測圖像、圖樣和結構特征的細微變化,這些變化表明存在潛在缺陷。然後,模型使用其深入分析來識別設備中的常見故障點,並立即提出糾正措施建議。RUDOLPH AXI-S是一種功能強大、用途廣泛、精確的掩模和晶圓檢測設備,可有效檢測IC結構的細微變化。光學成像、X射線熒光光譜、統計過程監測和自動缺陷分析相結合，確保設備質量優越、可靠性高。利用這一系統，半導體制造商可以確保一致可靠的IC產品。