二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9308155 待售

RUDOLPH / AUGUST AXI-S
ID: 9308155
晶圓大小: 12"
Wafer inspection systems, 12".
RUDOLPH/AUGUST AXI-S是檢查口罩和晶片的綜合解決方案。它提供了廣泛的服務,包括數字圖像處理和高精度計量。AUGUST AXI-S是一個完整的設備,能夠進行高速檢查和數據分析,可靠的過程中控制。RUDOLPH AXI-S由專門的光學元件、高級軟件和定制的機器人處理系統組成。利用光敏傳感器檢測掩模和晶片中的缺陷。傳感器安裝在精密的x-y級上,可以通過機器人基座移動到舞臺上任何所需的位置。對這些傳感器進行校準,以測量缺陷的確切位置,從而可以精確測量每個缺陷的尺寸。AXI-S還測量晶片的形狀和方向。利用背光照明模式和先進的邊緣檢測算法,精確測量晶片形狀和位置的尺寸。該單元還對成像數據進行完整的數據分析,提供缺陷特性和設備參數的詳細分析。機器還包括一個晶圓跟蹤工具,它跟蹤每一個晶圓,因為它通過資產移動。該模型提供了從設備前端到後端追蹤晶片的能力,以便於管理和質量控制。用戶友好的RUDOLPH/AUGT AXI-S軟件用於控制系統和配置參數。用戶可以使用可自定義的設置和強大的圖像處理工具輕松為每個晶圓創建自定義報告。該軟件還提供了高效、自動的缺陷檢測和方便的缺陷檢測。它還包括一個自動缺陷分類工具,可以準確測量和診斷每個缺陷。缺陷分類單元基於使用各種參數(如大小、形狀、位置和顏色)的特征級分析。這樣可以實現更高的精度和更容易的缺陷分析。AUGUST AXI-S是一種可靠的掩模和晶圓檢測機,設計用於進行速度和精度的在線檢測。此檢查工具是可自定義的,可提供可靠的過程中控制和完整的數據分析。其自動缺陷分類資產將準確性和缺陷檢查提升到下一個級別,從而為用戶提供在過程中和過程後的完整控制和分析。
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