二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9350862 待售
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RUDOLPH/AUGUST AXI-S掩模和晶片檢查設備是一種先進的自動化檢查系統，設計用於光掩模、30 x 30毫米晶片挑戰和其他小部件的自動化過程控制。該單元由幾個組件組成：外殼、光學系統、控制器和圖像處理單元。AUGUST AXI-S掩模和晶圓檢測機的外殼設計方便操作。它有一個大的，符合人體工程學設計的工作面，兩個控制器顯示器和四個集成的手套箱，以便於處理被檢查的零件。RUDOLPH AXI-S Mask和Wafer Inspection Asset的光學工具由兩個強大的楔場平面顯微鏡組成，它允許光學顯微鏡和暗場照明用於光學光滑表面的成像，或者兩個透射光平面顯微鏡，這兩個顯微鏡既允許外光照明器，也允許相位對比度操作用於光學光滑表面的成像。根據應用，這些光學器件可以連接到兩臺閉路電視攝像機，兩臺來自尼康的CCD攝像機，一臺來自卡爾·蔡司的USB 2.0攝像機或一臺來自奧林巴斯的數碼攝像機。此外,AXI-S掩模和晶圓檢測模型還配備了先進的圖像分析和測量軟件以及集成缺陷分類設備,可快速檢測和分類檢測表面的缺陷。該系統提供了存儲和召回檢查參數、將結果和圖像導出到外部系統以及存儲和分析所有圖像的可能性。為保證高效運行，該單元配備了控制器，允許操作員以手動和自動兩種模式控制顯微鏡。控制器具有函數生成器和校準向導,以確保為應用程序優化參數。最後對RUDOLPH/AUGUST AXI-S掩模和晶片檢測機進行了優化，用於光掩模、30x30 mm晶片等小部件的檢測。它可以輕松集成到現有生產線和過程控制系統中,具有直觀的用戶界面和廣泛的分析功能。該工具設計方便操作,並以最高分辨率提供可靠的結果。
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