二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9401136 待售

RUDOLPH/AUGUST AXI-S是一種綜合性的掩模和晶圓檢測設備，設計用於滿足微電子行業過程控制的嚴格要求。該系統提供具有屬性測量功能和高級過程控制功能的完全自動化。該單元由兩個主要部分組成：4AUGUST AXI-S、精密XY級和嵌入式視覺機。4RUDOLPH的AXI-S、精密XY級利用直線電動機實現高速運動，能夠在X、Y、Z方向精確移動物體，分辨率為0.1 μ m。這個階段還有一個內置的機器人手臂，最大速度為1mm/s，力容為1,500N。嵌入式視覺工具采用了最新的智能圖像識別技術，允許同時進行多閃存圖像處理。它提供了廣闊的視野，甚至可以檢測到最具挑戰性的缺陷和模式。該資產為所有類型的掩模和晶片（包括薄、厚和超薄相）提供準確可靠的測量數據。對實測數據進行進一步處理，以進行統計趨勢分析和工藝優化。該模型還提供全面的軟件,旨在為實時圖像顯示和多步操作提供用戶友好的GUI。它支持實時圖像捕獲、圖像處理以及圖像分析和分析。該軟件可通過各種復雜的操作實現過程控制。設備還提供了與現有系統集成的靈活性。此外還配備了NIST同步、OCR模式識別、雙通道報警和PLC控制等先進功能。所有這些功能允許用戶監視和自定義系統性能。AXI-S是一個經濟高效且用途廣泛的掩模和晶圓檢驗單元，旨在滿足最高的生產要求。它以各種復雜的操作提供可靠、準確的測量數據和過程控制。該機是高容量微電子生產的完美解決方案。