二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 100A1 #9239070 待售
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RUDOLPH/AUGUST NSX 100A1是一種掩模和晶片檢查設備,設計用於檢測用於生產極小微電子元件的光掩模和薄晶片的缺陷。這類設備對於使用標準顯微鏡進行質量控制和檢測可能遺漏的缺陷至關重要。AUGUST NSX 100A1使用獲得專利的動態觀察結構(DOF)來精確檢測平坦和不規則表面(如薄晶圓層)上的小缺陷。該系統利用具有高分辨率和可變變焦的集成成像單元在微觀層面識別缺陷。利用隨機彈跳成像(SRI)算法,利用高頻掃描捕獲復雜曲面的圖像,以便分離晶圓特征並快速識別缺陷。RUDOLPH NSX 100A1設計用於處理尺寸不超過200 mm的標準光掩模和尺寸不超過300 mm的薄晶圓,均采用相同的分辨率。機器具有自動校準功能,允許操作員快速撥入並保持正確的焦點。NSX 100A1的用戶界面是一種直觀的圖形觸摸屏顯示,可以使用手寫筆或觸摸板操作。界面便於快速設置和調整檢測參數。它還允許操作員查看2D和3D圖像中的掩碼或晶片,這對於需要高精度的應用非常完美,例如在生產集成電路時。RUDOLPH/AUGUST NSX 100A1還具有高級功能,可幫助進行缺陷分類、自動缺陷檢查和缺陷分析。它可以檢測到小至2.5微米的顆粒,這對於微觀特征生產中的質量控制是必不可少的。缺陷分析功能采用成像過程中獲取的批量圖像,使工具能夠快速準確地檢測和分類缺陷。AUGUST NSX 100A1是快速掩模和晶圓檢測的理想資產。其先進的特點和直觀的用戶界面使其易於設置和使用,並且能夠以極高的分辨率捕獲和分析缺陷,使其成為微電子生產過程中質量控制的理想選擇。
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