二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 105 #9177357 待售

RUDOLPH/AUGUST NSX 105是一種緊湊、面罩和晶片的檢測設備，設計用於快速準確地檢測缺陷。該系統的自動檢測和分析功能旨在提供有關薄半導體掩模和晶圓基板的缺陷和其他非光學特性的詳細信息。它非常適合在研發、過程控制或小批量生產環境中使用。該單元采用接觸和非接觸光學技術的混合體來檢測掩模和晶片上的表面異常。它的接觸頭包含一個由40個高分辨率、平行的激光器組成的陣列，這些激光器以單一路徑掃描基板並獨立測量不同的特征。接觸頭配有微操縱器，能夠絕對測量顛簸和其他微結構的高度輪廓。除了接觸方式外，該機器還采用寬帶照明技術，在晶圓上的一個、兩個或三個不同波段上提供基於光學的測量。這使工具能夠測量一系列特征,從芯片輪廓和表面粗糙度到預定的陣列參數。該資產能夠使用多達三維的數據可視化功能自動生成特征的表面圖。它還配備了高精度缺陷定位、表面分析和自動缺陷審查功能,以及實時模型穩定性調整和自動缺陷插圖。AUGUST NSX-105可以靈活地與專用檢查設備集成,也可以集成到更大的流程中。無論哪種情況,都可以通過以太網、GPIB（通用接口總線）或USB端口連接。此外,它還附帶板載軟件工具,可提供實時、自動化的缺陷檢測數據,從而最大限度地提高效率。板載軟件包括面向缺陷的圖像編輯器、靈活的數據日誌記錄等。總體而言，RUDOLPH NSX 105是一個先進、緊湊的系統，旨在快速、可靠地檢測薄半導體掩模和晶圓基板上的缺陷和其他表面特征。它結合了先進的接觸和非接觸光學技術,以及各種自動化功能,非常適合在實驗室或生產環境中使用。