二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 105 #9191496 待售
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ID: 9191496
晶圓大小: 8"
優質的: 2004
Inspection system, 8"
(2) Load ports, 6"-8"
BROOKS AUTOMATION Robot and aligner
Wafer stage, 12"
(5) Optic lens with SONY CCD 3D camera
2004 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 105是高速掩模和晶圓檢查設備。該系統用於檢測半導體晶圓和光掩模基板中存在的顆粒、劃痕和其他缺陷。它是一個先進的機器視覺單元，提供全自動檢測和分析微粒低至10微米以及劃痕。機器使用全場偏振頻閃光成像操作，然後與粒子計數算法一起使用，檢測粒子和其他汙染物的存在。該工具可以在非常大的區域檢測到半透明的顆粒和不均勻的汙染區域，使其成為一次檢查大面積晶片的理想資產。它有一個集成的專有跟蹤模型，使檢查人員能夠跟蹤檢查的進度。RudyAUGT NSX-105包括高分辨率彩色相機和最先進的光學元件。攝像機可以采用線掃描和區域掃描兩種格式進行配置,使操作員能夠將設備調整為特定應用程序的最佳圖像質量。該系統還包括可配置用於目視檢查、統計分析和其他目的的自定義圖像處理軟件。該單元與多個附件配合使用，包括樣品支架、液體分散器和張緊器單元。樣品持有者便於將樣品呈現給相機，並允許確定精確的焦點。液體分散器單元用於向樣品噴灑幹或液濕化學物質，而張緊器單元則可用於對樣品表面精確施加張力，以便檢測劃痕。檢查結果存儲在硬盤上。可以對結果進行分析、打印和存儲,以供將來參考。RudyRUDOLPH NSX 105是一種可靠、高質量的機器，在半導體工業中被許多制造商信賴來檢測缺陷。憑借其先進的掩蔽和晶圓檢測能力，這一工具提供了一個強大的工具，快速和準確地識別潛在的問題與半導體基板。
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