二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 105 #9230601 待售

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RUDOLPH / AUGUST NSX 105
已售出
ID: 9230601
晶圓大小: 6"-8"
優質的: 2004
Automatic Vision Inspection (AVI) system, 6"-8" 2004 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 105掩模和晶片檢驗設備是一種綜合性晶圓和掩模檢驗系統,用於半導體制造行業。該單元是一臺集成的機器,由一個充電站、直接照明(DI)照明器、照相機、計算機、圖像處理軟件和包括SDE顯微鏡、樣品級和過濾工具在內的外圍設備組成。資產的光電子系統由偏振器-分析器成像站(PAIS)、DI照明器、照相機和SDE顯微鏡組成。照明器的波長範圍從400到1050 nm,具有自適應功率控制和可調光強度等多種特性,以確保高靈敏度和最佳性能。相機是一種高分辨率CCD相機,以每秒600個圖像幀來捕捉樣本的圖像。SDE顯微鏡(掃描衍射元件)提供高達0.25 μ m的光學分辨率和樣品片的高放大圖像。該模型具有高度先進的圖像捕獲和分析軟件套件。它包括自動和半自動缺陷檢測、分析和分類,以及晶圓/掩模檢查和分析的綜合模塊。該軟件還允許進行各種操作,如平面或3D圖像中的掩碼檢查、表面檢查和計量、光掩碼驗證、3D檢查和缺陷檢測。AUGUST NSX-105面膜晶片檢測設備的外圍設備設計精度高.采樣臺設計用於精確定位,具有可調節的參數,用於精確定位,達到更高的精度。過濾系統通過清除環境中的小顆粒,確保了清潔、精確的檢測環境。該單元設計可靠、精確,精度規格高達0.25 μ m,最大信噪比為1000:1。還配備了預測性維護、人性化觸摸屏、報警和溫度控制,確保最高性能和最佳運行溫度。RUDOLPH NSX 105 Mask&Wafer Inspection Machine是一款用於mask和晶圓檢驗分析的多功能解決方案,在半導體制造行業提供精確可靠的性能。該工具適用於高端、高精度的加工,可用於有效檢測、分類和分析掩模、半導體器件等相關材料中的缺陷。
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