二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 105 #9298761 待售
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RUDOLPH/AUGUST NSX 105掩模和晶片檢查設備是一種成像檢查系統,用於檢查晶片表面是否有不規則和缺陷。該檢測單元可用於檢測汙染、變薄、針孔、位錯、缺陷等表面異常。機器利用白光源、光學相機和成像模式識別算法來捕捉圖像並進行檢查。AUGUST NSX-105由由白色LED光源和杯狀暗場鏡組成的暗場照明工具組成。該資產還配備了光學相機和激光,利用幹涉聚焦掃描(IFS)測量高度和表面不規則。模型還有一個模式識別算法,用於檢測晶圓表面的任何不規則性。使用光學相機以兩個角度拍攝檢查圖像並存儲在設備的硬盤上。系統還記錄了拍攝圖像的條件,如使用的掩碼類型、使用的光的類型以及模式識別算法的參數。然後用單元的模式識別算法對記錄的圖像進行分析。此算法使用基於模板的技術來檢測晶圓表面上的任何不規則或缺陷。算法還使用三維技術來測量任何不規則的高度。RUDOLPH NSX 105能夠通過一次運行自動分析多達1000個晶圓。機器可以根據用戶的特定需求進行定制,並可用於多種缺陷,如汙染、位錯、針孔、變薄等表面異常。NSX 105掩模和晶片檢查工具是用於檢測、識別和測量表面不規則和不完美的高級工具。該資產操作方便,是晶圓表面檢驗和質量保證的理想選擇。
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