二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #293615443 待售
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ID: 293615443
優質的: 2009
Automatic Optical Inspection (AOI) system
Wafer handler with X Port
2009 vintage.
AUGUST NSX系列115是一種掩模和晶圓檢測設備,設計用於實現微電子器件的高精度成像。該系統利用5軸運動平臺和先進的光電回波和成像組件,以卓越的清晰度和細節準確地捕獲和處理掩模和晶片的圖像。在其核心,空氣中的粒子被CCD照相機和嵌入式光掩模探測到。CCD相機捕捉樣品的亮場圖像,然後用四個高精度鏡頭進行分析。對捕捉到的圖像進行評估和檢查,以了解圖樣的不規則性、汙染物的存在或任何缺陷的檢測。圖像的處理由專有算法管理,該算法允許設備將圖像與參考標準進行比較。然後,機器將使用比較結果來識別設備或材料中的任何缺陷。該工具進一步支持整合用戶定義的編程控制和額外的數據處理功能。此外,RUDOLPH NSX系列115還提供了一系列高級功能,使其能夠構建研磨和拋光過程的畫面。該算法將資產上的CCD攝像機鏈接到運動平臺,使其能夠計算角速度、平移速度和掃描樣本總數。該模型進一步允許減慢運動時的速度,以實現磨削和拋光過程的微調。為了進一步支持各種應用程序和樣本類型,RUDOLPH/AUGT NSX系列115可以配置不同的光學器件、浸入式設備和輕型設備。此外,整個設備是為最大的可靠性和耐用性而建造的.這既包括光學組件,也包括自動化和半自動過程,系統能夠執行。總之,AUGUST NSX系列115是一種先進的掩模和晶圓檢測裝置,為苛刻的微電子生產環境提供了卓越的性能。該機器配備了一系列功能,可確保其光機電和成像組件所捕捉到的圖像的卓越清晰度和細節。此外,該工具還實施了一種復雜的算法,將圖像與參考標準進行比較,從而能夠檢測過程中的任何不規則性或缺陷。
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