二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #9289377 待售

RUDOLPH/AUGUST NSX 115是一種最先進的掩模和晶圓檢測設備,旨在確保制造先進集成電路的高質量標準。AUGUST NSX 115將多達8個攝像頭頭集成到設計中,允許同時對晶片和CMP面板進行基於系列的檢查。該系統能夠進行高通量檢查,能夠每小時檢查多達500個晶圓,並提供免費的晶圓處理功能。它還可以利用專有的增強現實（AR）叠加特征檢測晶圓方向的潛在缺陷，該特征呈現晶圓上精確物理位置內的缺陷的模擬圖像。RUDOLPH NSX 115利用專有的渦流來評估晶圓表面上的陣列特征。這樣可以快速評估表面可能存在的金屬腐蝕和其他缺陷。它還使用擴散對比度成像來檢查使用不同的光掩模濾鏡在晶圓表面上創建的圖樣。這樣可以區分特征層中存在的缺陷與支撐材料或底層中存在的缺陷。該檢測單元包含了多種傳感器，包括電子束檢測、掃描聲學顯微鏡和Wilcoxon。這使機器能夠檢測到各種缺陷，包括線缺陷、點缺陷和高度不規則性。此外,NSX 115還提供光學檢查,以確保陣列、傾斜或彎曲的陣列以及3-D特征檢測的均勻性。最後,RUDOLPH/AUGUST NSX 115配備了紅外測量工具,可以精確測量晶圓的幾何特征和特性。這樣就可以獲得精確的缺陷數據和測量數據,以可靠地確保晶片符合行業標準。總體而言,AUGUST NSX 115是一種有效且通用的工具,用於識別制造中的潛在缺陷和錯誤。該資產結合了成像、傳感和測量技術,能夠快速檢查晶片和CMP面板,檢測不規則和故障,並提供精確的測量結果以保證晶片質量。