二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #9394174 待售
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ID: 9394174
Automatic Optical Inspection (AOI) System
UltraPort handler
With wafer and filmframe port.
RUDOLPH/AUGUST NSX 115掩模及晶片檢驗設備是一種高精度、高通量的系統,旨在提供對連續掩模和雙模式標線應用的檢驗。該單元配備了5MP Square CCD攝像頭,能夠8um low-k1和10um high-k1的檢測分辨率。照相機安裝在Z軸上,允許完整的蒙版景深(MDoF)捕獲3 D蒙版幾何,同時機器還能夠提供高分辨率的2D Tip-View蒙版檢查。此外,多投影儀3D Overlay允許手動進行Confidassure Tool評分和算法檢測。資產硬件由SofTec機器視覺平臺控制,能夠以卓越的速度和靈活性輕松定制和處理數據。這使用戶可以輕松地在檢查操作之間切換,從而方便地支持多層的多格式工具,如放大、減法、雙差分、叠加和復雜叠加。此外,軟件包還可用於特殊應用程序,如2D圖像分析、標線邊緣檢查、線邊緣粗糙度、MEF、焦點測量、測量完整性和重復缺陷分析。AUGUST NSX 115專為全天候性能而設計,具有掩碼幻燈片更改、缺陷校正、跨站點報告評估、在線OCR和報告編碼等功能。它還設計用於最大限度地減少操作員幹預並最大限度地提高產量,具有多種過程控制功能,如掩碼負載策略、錯綜復雜的映射、缺陷管理、在線分析和預清潔。通過將軟件功能與功能強大的5MP CCD攝像頭相結合,RUDOLPH NSX 115即使遇到高錯誤缺陷率也能提供最高的保留率,並且能夠在低周期時間內進行高精度的檢查。總體而言,NSX 115掩模和晶片檢查模型提供了業界領先的解決方案,可用於連續掩模的高精度、低缺陷率檢查以及雙圖案標線操作。通過將功能強大的5MP CCD攝像頭、SofTec機器視覺平臺和眾多支持軟件相結合,RUDOLPH/AUGT NSX 115能夠提供可靠、高通量和準確的檢查。
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