二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #9395408 待售
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單擊可縮放
ID: 9395408
晶圓大小: 6"-8"
優質的: 2010
Automatic Optical Inspection (AOI) system, 6"-8"
GENMARK Gencobot 8/2L
PC
2010 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 115掩模和晶圓檢驗設備是一種半自動系統,用於檢查半導體掩模的缺陷。AUGUST NSX 115提供快速、高效的晶片和掩模檢查,用於低分辨率成像和高達4 µm的分辨率成像,而手動檢查非常耗時。該裝置帶有一個晶片級,用於檢查八個200 mm dia。高速晶片。它還配備了可調節的Mask Insight Machine MAG PIE,可在多個護墊上提供自動對焦功能,以及一個高分辨率光學工具,可與400p/mm鏡頭配合使用以檢測甚至最好的缺陷。RUDOLPH NSX 115的軟件簡單直觀。它包括一個帶有易於使用的對話框的拖放界面,用於編程檢查作業。資產包括晶圓檢測、聚焦調節晶圓檢測和掩模檢測三種操作模式。晶片和掩模的檢查很快和容易完成,每小時最多可進行1,000次晶片檢查。為方便用戶,該模型提供了一系列圖像捕獲功能,包括合成孔徑成像、數字視頻縮放和亮化,以及圖像增強功能。NSX 115還具有自動模式識別和識別功能。該設備可與用於晶片和掩模裝卸的AGV機器人以及用於保存和歸檔檢查數據的外部離線分析站集成在一起。這些特性,加上系統的緊湊設計,使其成為各種任務的理想選擇,尤其是與晶圓和掩模檢查相關的任務。此外,該單元的設計也是為了滿足各行業客戶的需求。因此,RUDOLPH/AUGT NSX 115可以滿足半導體掩模和晶圓檢測領域最嚴格的用戶的需求。
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