二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 115D1 #293598225 待售

RUDOLPH/AUGUST NSX 115D1是一種綜合性的掩模和晶圓檢查設備,旨在為從半導體掩模檢查到關鍵的高分辨率檢查和缺陷檢測等一系列應用提供快速、高分辨率的檢查和可擴展性。該系統具有全自動檢查序列、用於掩模發光的自動對齊功能,以及用於高放大倍率的全對比度增強圖像顯示。AUGUST NSX 115D1配備了從6 X到900X的25個放大倍數設置,5 X到100X可用於快速、低放大倍數的檢查,8 X到900X可用於詳細的檢查和缺陷分析。混合匹配檢查功能和刀具組之間的快速更改是在檢查掩模和晶片時提供更大靈活性的附加功能。該單元還擁有四臺高性能數碼相機，用於捕捉檢查和分析面具或晶片的圖像數據。RUDOLPH NSX 115 D1旨在提供卓越的缺陷檢測功能。它能夠檢測或指示可能小至0.2微米、大至8微米的缺陷。該機器提供低對比度和高對比度檢測,而高端多層檢測工具通過顯示一系列圖像分辨率來降低圖像噪聲,從而確保盡可能清晰的圖像。資產包括兩種高級圖像處理算法，用於高性能檢查所需的超分辨率和處理低對比度、高分辨率圖像的能力。其他功能（如放大/縮小、手動聚焦、局部掃描和測量功能）允許進行更好的檢查和分析。在面罩或晶片檢查方面，NSX 115 D1可以識別空隙、開口、短褲、毛刺等缺陷。利用其「自動對齊」功能,它能夠以2 μ m或更小的精度對齊基板中的蒙版圖案。模型還會檢查紋理、突出顯示粒子、變形、邊緣映射以及光學和照相機無法檢測到的清晰/扭曲的圖樣。RUDOLPH/AUGUST NSX 115 D 1是一種可靠、操作簡單的掩模和晶圓檢測設備,可為各種應用提供最大的精度和控制。NSX 115D具有無與倫比的性能、卓越的特性和先進的設計,是任何半導體制造過程的理想解決方案。