二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 320 #9229193 待售
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RUDOLPH/AUGUST NSX 320掩模和晶圓檢驗設備是一種強大的集成工具,用於質量控制和缺陷檢測。它結合了先進的光學、圖像處理技術和直觀的用戶友好環境,能夠對各種材料(最多6英寸晶片)的地形、晶片輪廓和微觀結構進行可靠的測量。系統的主要部件包括高分辨率相機、光學盒、xy-stage和固態記錄單元。光學盒裝有直接光學顯微鏡、象限組合激光幹涉儀和激光機器。光學顯微鏡包含高分辨率CCD相機,可變放大倍數從4倍到30倍。激光工具由四個精確校準的激光器組成,以測量晶片的高度輪廓。xy-stage允許晶片移動到不同的焦點。AUGUST NSX 320使用先進的圖像處理算法,以快速、精確的方式處理所獲取的圖像。對圖像進行處理,得到晶片的地形和反射率圖,精確度低至1微米。然後將地圖以顏色編碼顯示方式布置,使技術人員能夠快速識別晶圓上的缺陷。結合舞臺的自動對焦功能,這使資產能夠精確測量每種晶圓的輪廓、微米級特征和組成。此外,RUDOLPH NSX 320軟件還包括一整套工具,可自動識別缺陷並對其進行分類。這包括用於缺陷檢測、評估和表征的算法。該軟件還包括缺陷簽名庫,使檢查員能夠快速比較已知缺陷簽名,以便在人類花費的時間內進行識別。NSX 320型號是用於檢查和分析晶片和掩碼的集成、功能強大且高度精確的工具。它結合了最先進的光學、圖像處理和用戶友好的軟件,能夠精確測量各種材料,最多6英寸晶圓。它是現代半導體生產不可或缺的,保證了制造晶片的質量和可靠性。
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