二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 320 #9243740 待售
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RUDOLPH/AUGUST NSX 320是一種自動化的掩模和晶片檢查設備,設計用於提供基於光刻的測試設備的快速、準確和可重復的分析。該系統利用自動缺陷檢測和計數(ADDC)軟件的先進納米技術,快速準確地檢測和量化生產晶片和掩模中的缺陷。該裝置旨在檢測和量化掩模和晶片中的微觀缺陷。AUGUST NSX 320提供晶圓厚度、臨界和覆蓋、圖像質量、填充因子、間距測量以及地形缺陷的精確測量。創新的自動化機器縮短了時間,提高了測試設備的效率。該工具采用單一攝像機設計,具有雙視圖照明角度、可變場大小和基於卡尺的聚焦資產,可提供準確的圖像捕獲和分析。該模型的高級算法能夠以可重復的準確性和最小的人工幹預來檢測和識別站點位置、孤立的缺陷和復雜的缺陷。軟件具有工藝條件和缺陷識別支持、檢視發現過程、自動缺陷計數、自動直方圖和尺寸分布分析以及自動缺陷檢測等特點。RUDOLPH NSX 320具有即插即用功能、直觀的圖形用戶界面(GUI)和自動批處理功能,易於操作。設備每批最多支持8個不同尺寸的晶片。此外,用戶可以定義和保存配方以捕獲和存儲流程配方和設置,以便於重復和優化測試。該系統符合SEMI E134標準,可以定制以滿足客戶的需求。總體而言,NSX 320是一個先進的自動化掩碼和晶圓檢測單元,旨在對測試設備進行快速、可重復和準確的分析。該機采用創新的單攝像頭設計,可用於高級缺陷檢測、直觀GUI、自動批處理、即插即用功能和高級分析。RUDOLPH/AUGT NSX 320提供可靠、可重復和一致的測量圖像數據,以支持設備制造、半導體生產和研發。
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