二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 3DI AXI / UltraPort5 #9233701 待售

RUDOLPH/AUGUST NSX 3DI AXI/ UltraPort5是專門為半導體行業的高分辨率圖樣應用而設計的掩模和晶圓檢測設備。該儀器能夠檢測到掩模片和晶片上蝕刻圖樣的缺陷，精度和重復性無與倫比。3DI體系結構利用先進的光學器件在光源和圖像平面之間實現高達5°的動態成像角度調整,從而能夠精確檢查頂角高達80°的圖樣。對於光刻過程產生的缺陷,該系統在3 μ時的檢測率高達5 σ m,甚至可以檢測到最微小的缺陷。專有的光真空照明單元也顯著減少了由粒子塵埃造成的相機影像波動。AUGUST NSX 3DI AXI/ UltraPort5具有直觀的UI接口,使其易於使用和控制,而其模塊化設計使機器能夠根據客戶的特定需求進行定制。RUDOLPH NSX 3DI AXI/ UltraPort5還采用了一種創新和堅固的晶圓配準工具，具有自動樣品定位和定向功能。這種資產確保每次檢查都能準確和重現，同時預測晶圓屈曲效應。模型還提供了可選的「影片」模式，它允許檢查移動目標，例如動態缺陷群集，而不是靜態缺陷模式。此外，該設備還提供電子束檢測組件，大大增加了3DI AXI/ UltraPort5的缺陷覆蓋率。此功能使制造商能夠在短短幾秒鐘內檢查整個掩碼和晶片陣列集,從而提高吞吐量並降低成本。3DI的AXI/UltraPort5卓越的處理能力允許同時映射和查看多達四個晶圓,而其大型7.5英寸LED顯示屏提供清晰的成像接口,以便於識別缺陷。NSX 3DI AXI/ UltraPort5是前沿技術和直觀設計的理想組合,用於掩模和晶圓檢測。它能夠以前所未有的精確度檢測微小缺陷,而它的模塊化設計和直觀的界面使該系統不僅易於使用和維護,而且極具成本效益。