二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 90 #9150909 待售

RUDOLPH/AUGUST NSX 90蒙版和晶片檢查設備是一種用於檢查蒙版或晶片的高速系統。它能夠在一次沖程中在23秒內檢查多達90個晶片,從而提供高產量和吞吐量。該單元最多提供三個運動軸：Y軸和X軸,以及一個旋轉傾斜（ST）掃描儀。Y軸用於將樣品帶到合適的檢驗位置。X軸用於相對於零件的被動對準。旋轉傾斜掃描儀用於檢查方向，以確保均勻的照明條件。檢測機是一種全數字化的機器，包含先進的光學元件。其光學檢測分辨率為20nm,三維可重復性為± 2 μ m。該相機專為高通量和高精度成像而設計。高性能照明提供不同角度的同軸和非同軸照明，以捕捉最佳的圖像細節。檢查工具配備了最先進的圖像處理資產。它提供了缺陷圖像的高速分析，具有自動缺陷分類和快速缺陷檢查。它可以檢測和識別微小的氣泡和裂紋、缺失或錯誤的零件、扭曲或錯位的零件以及各種大小的異物等缺陷。該模型還提供了全面的晶圓檢測數據分析，包括缺陷統計。此外,AUGUST NSX 90 Mask&Wafer Inspection Equipment還配備了額外的功能,如連續檢查、樣品尺寸調整和批量尺寸調整,從而提高了生產率和質量控制。其他特性如自適應掃描、多焦點檢查、作業加載等也為檢查系統增加了操作靈活性。