二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 95 #293635945 待售

RUDOLPH/AUGUST NSX 95是由AUGUST Technologies設計和生產的高度先進的掩模和晶圓檢測設備。它旨在提高集成電路制造中使用的薄膜晶體管（TFT）的制造效率和精度。AUGUST NSX-95利用RGB顯微鏡等最先進的多分辨率光學和成像技術來識別集成電路制造中所用基板的掩模層和晶片的缺陷和潛在的設計問題。該系統為分析各種TFT和器件層幾何形狀提供了卓越的細節、寬廣的視野和較長的工作距離,並具有較高的位置精度。該單元的核心是工作距離長的高放大目標，以及視野大、速度最大、位置精度微米的精密級。大視野使得在不同視野中識別缺陷和缺陷濃度較高的區域變得容易。此外，可以使用不同的濾波器來隔離不同的波長，以優化各層的對比度，並最大限度地減少任何光學像差。特定波長的光譜選擇提供了對同一晶圓層和掩模層拍攝的圖像的直接比較，有助於獲得更高保真度的假色顯示。RUDOLPH NSX 95還配備了一系列可用於診斷缺陷的復雜工具，包括高速映射、統計分析和3D重建。高速制圖使工程師能夠高效地觀察缺陷的位置和強度。使用此工具,工程師可以快速識別和識別器件層中晶片和圖案表面上的亞微米特征。統計分析可以通過比較底物的不同區域來分析缺陷水平的趨勢。3 D重建有助於以不同角度創建設備或陣列層的三維表示,從而使工程師能夠快速分析可能被忽略的更深層次的設計問題。機器還有一個軟件套件來管理完整的進程。RUDOLPH Technologies使用此套件開發了用於檢查不同掩模和晶片層的定制配方。它提供了一個用於配置和管理不同測試腳本的界面,允許工程師復制特定測試的結果。最後,公司知識庫和一流的支持工具可用於快速回復客戶請求。總體而言,RUDOLPH NSX-95是一種功能強大且用途廣泛的Mask and Wafer Inspection資產,它為工程師提供了快速準確地識別Mask和Wafer層中的設計缺陷所需的工具,使他們能夠最大限度地提高設備產量並最大程度地減少缺陷。