二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 95 #293755120 待售

RUDOLPH/AUGUST NSX 95面膜和晶片檢測設備是一種先進的全自動晶片檢測系統。它結合了高分辨率掃描電子顯微鏡（SEM）和機器人晶片級，用於快速、精確的晶片檢查。AUGUST NSX-95設計用於快速、準確地檢查晶圓的最緊布局公差到45納米工藝技術。它能夠檢測超深亞微米級半導體生產中的缺陷。RUDOLPH NSX 95具有高速、高分辨率、彩色SEM,最大分辨率為0.2nm,圖像尺寸可達1000 x 1000 µm。這提供了精確的缺陷測量和識別所需的最高放大倍率和視野。一個機器人晶片級和集成的模具面積分析選項提供了生產和參考晶片的高速、無損缺陷評價。面罩和晶片檢查裝置還具有高分辨率LED照明機器，可以在相同的照明條件下並排查看樣品。此功能對於包括模式識別在內的顏色編碼技術至關重要。AUGUST NSX 95配備了強大的自動樣品定位工具，允許精確快速的樣品定位，從而減少了樣品加載時間。RUDOLPH NSX 95包含幾個高級功能，為用戶提供最高精度的缺陷識別。這些特性包括缺陷識別算法（DRA），它允許快速可靠的缺陷識別。DRA可以檢測內聯生產和參考缺陷。它還具有用於快速粒子分析的自動粒子分析（AiPA）選項,以及允許資產根據用戶輸入選擇正確晶圓的自動樣本分配（ASA）。最後,NSX 95提供了向後端進程模型的直接缺陷傳輸和可靠的數據存儲,以及通過安全的Internet連接進行的遠程診斷/故障排除。這樣可以輕松設置和高速數據傳輸,從而縮短周轉時間。總體而言，RUDOLPH NSX-95是一種功能強大且可靠的掩模和晶片檢測設備，能夠快速準確地檢測晶片級缺陷。高速掃描電子顯微鏡和機器人晶片級提供快速、精確的樣品定位和圖像分析。LED照明系統、缺陷識別算法、粒子分析和自動樣品分配功能都使設備高效可靠，同時在生產和工藝開發中提供了最高精度的缺陷識別。