二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 95 #9206625 待售

RUDOLPH/AUGUST NSX 95掩模和晶圓檢測設備是一種用於半導體制造的高性能、自動化光刻工具。它設計用於對標線和晶片掩模進行精確、快速的檢查。AUGUST NSX-95提供了一整套先進的無損缺陷檢測、表征和分析功能,允許快速表征和微調,以滿足客戶的要求和規範。RUDOLPH NSX 95包含幾個設置階段,用於定制特定掩模類型的檢查,例如在標線和晶片上的檢查。晶圓傳輸系統用於將掩模移動到位，並將其固定在表面舞臺上。接下來，將標線放置在表面級並對齊，這樣圖像的中心就可以與晶圓的表面精確匹配。一旦標線正確放置,光學對準單元將掃描標線,以確保結果的最高精度。RUDOLPH/AUGT NSX 95機器光學元件的分辨率甚至高於競爭系統,以確保更快速、更準確的檢查。這樣可以更準確地檢查掩模元素與相應晶片表面之間的對齊方式。它還提供了擴展的焦點深度。這種擴大的聚焦深度使檢查工具能夠識別隱藏在凹槽和溝槽中的特征，而肉眼可能不容易看到這些特征。此外,NSX 95還具有高級缺陷檢測功能。資產使用復雜的算法進行編程,以查找包含電氣、光學或結構類別的缺陷。它能夠檢測和區分有機、無機、晶格或結構缺陷。各種設置允許用戶區分不同的缺陷類別,並且可以通過自動設置加快處理時間。除了缺陷檢測指標外,AUGUST NSX 95還提供全面的性能分析。它評估信噪比、對比度、缺陷圖像對比度、缺陷大小等關鍵參數。再者，模型可以精確模擬超過視場大小十倍的打印區域。此高級模擬功能使工程師能夠預測大面積設計的可打印性和性能。NSX 95是檢查和分析標線和晶片掩碼的寶貴工具。它結合了光學對準和先進的缺陷檢測能力，非常適合大批量生產。其延伸的聚焦深度和深入的性能分析肯定會提高生產可靠性。