二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 95 #9207041 待售

ID: 9207041
晶圓大小: 8"
Defect inspection system, 8" WHS Manual load type.
RUDOLPH/AUGUST NSX 95掩模和晶片檢驗設備是一種高精度、高通量的機器,用於檢查和分析用於制造半導體和光電元件的掩模和晶片。該系統采用激光光束傳送裝置和高分辨率成像,進行詳細的表面紋理分析、缺陷測試和其他檢查。該機器由兩個主要部件組成:視力站,在視力站裝載和檢查口罩和晶片;和檢測站,其中激光控制光束用於測量和驗證表面紋理的均勻性。視覺站配有圖像傳感器和計算機控制的攝像頭頭,可捕捉晶圓表面的圖像。然後,專門的軟件處理這些圖像,從而可以識別點缺陷並測量復雜的表面特性。檢測站設有激光束機,用於精確映射掩模和/或晶片的表面。該工具采用專門的光纖光束分離器,將激光束分成多個離散光束,用於晶圓或掩模表面的重新成像。這些光束聚焦在曲面上並由CCD陣列收集,然後重新組合以創建曲面圖像。該圖像由專門的計算機軟件進行分析,以進行表面粗糙度、線寬等特征的測量。該資產還為質量管理、缺陷映射和晶圓跟蹤提供了強大的軟件套件。AUGUST NSX-95 Mask&Wafer Inspection Model旨在滿足半導體行業的嚴格要求,提供卓越的性能和可靠性,同時減少工藝周期時間和成本。其精確測量表面紋理等特性的能力,使其成為半導體和光電元件制造商的寶貴工具。
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