二手 RUDOLPH / AUGUST WV320 #293587810 待售
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RUDOLPH/AUGUST WV320是一種革命性的集成式掩模和晶圓檢測設備。該系統由一個獨特的基於光學幹涉儀的檢測頭組成，安裝在高精度數控掃描級上。掃描階段由計算機控制，最多可移動三個獨立軸。每個軸都能夠在x、y和z方向上平移最多5毫米的頭部。該單元使用由光源、透鏡、目鏡和偏振立方體組成的固態幹涉儀。偏振立方體用於將光引導到要檢查的掩模或晶片表面或從其表面發出。從表面反射出來的光被透鏡收集，允許圖像采集。AUGUST WV320機器可以高精度地檢查扁平和彎曲晶片和掩模。該工具設計用於亞微米檢查，可測量分辨率為0.25微米。檢查速度可在0.5至3.5 Hz之間進行調節,具體取決於所檢查晶片或掩模的大小。該資產可以檢測到從四舍五入、開裂、碎裂和側壁故障到玻璃蓋板過度磨損等缺陷。該模型還可以測量諸如側壁幾何形狀、孔的大小和螺距、微vias、軌道、網格等特征。除了缺陷和特征測量外，該設備還具有提供定量和統計二進制數據的獨特能力。這在評估分散特征模式時特別有益。該系統還配備了專門的軟件，使其能夠在檢查樣品時檢測缺陷分布和其他特征。該軟件還具有自動校準例程,可更快地檢測缺陷。RUDOLPH WV 320單元是晶圓和掩模應用的可靠且用戶友好的檢測機。它提供快速、準確和可重復的缺陷檢測和特征測量,其分辨率適用於所有半導體應用。檢查工具中的軟件增加了識別缺陷分布和復雜模式的能力,使WV 320成為當今要求苛刻的半導體行業的理想選擇。
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