二手 RUDOLPH / AUGUST WV320 #9350873 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
RUDOLPH/AUGUST WV320是一種用於檢查半導體晶片和掩模缺陷的掩模和晶片檢測設備。它使用光學顯微鏡和高分辨率成像檢查晶片或掩模的正面和背面。該系統可以精確識別顆粒、線條缺陷、凹坑、斑點和其他不規則性。光學圖像以高達2000萬像素的分辨率捕獲,以獲得詳細的高清圖像,並且可以檢測到小至0.01 µm （10 nm）的特征。它還配備了背面孔徑成像，允許對具有高對比度反射測量成像等先進特性的晶片進行自動背面檢查。AUGUST WV320還具有一個大的、可調的建築區域，可以容納直徑達200毫米的晶片。它帶有用戶友好的GUI,並由觸摸屏控制器控制。此外，還有一個自動晶片進紙器，可以快速、高效地檢查大批量晶片。該單元還包括一個自動缺陷檢測機，自動檢測和分類缺陷，以便快速、高效的處理。該工具可以識別各種缺陷，如顆粒、線條缺陷、凹坑、斑點和其他特征。它配備了先進的算法，使資產能夠準確分類缺陷的類型和大小。最後,RUDOLPH WV 320具有快速響應自動對焦和自動變焦功能。這使得模型能夠快速響應樣品的變化，比如那些由溫度或電壓波動引起的變化。這提高了檢查的準確性和可靠性，提高了設備的整體效率。綜上所述，WV320是一個前沿的掩模和晶片檢測系統，可以檢測具有高分辨率成像和自動缺陷檢測的半導體晶片和掩模。其先進的功能，如用戶友好的GUI、自動晶圓進紙器以及快速自動對焦和自動變焦，使其成為高效而強大的掩碼和晶圓檢測單元。
還沒有評論