二手 RUDOLPH / AUGUST XPORT #293644799 待售
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RUDOLPH/AUGUST XPORT是一種精密精確的掩模和晶圓檢測設備。它旨在滿足大批量和小批量生產的需要。它利用X射線散射、光學散射測量和3D輪廓測量等高級功能提供無損晶片檢查和掩模檢查功能。該系統的XY軸級是一個堅固的線性電動級，用於精確可靠的晶圓和掩模定位。該單元的Z軸可在納米尺度上實現精確的高度調節。該工具集成了先進的成像和照明機，能夠精確獲取分辨率為0.25至0.75 µm的3D圖像數據。集成光學資產具有三種數據采集模式：表面檢測、晶圓和掩模檢測；陰影圖像；和3D配置文件數據采集。它還提供自動化的表面成像和缺陷分析。它包括用於高級階段控制和控制成像和測量系統的高性能視覺電子模型。集成數據采集軟件可方便地訪問和控制所有參數，使用戶能夠很好地分析和跟蹤圖像數據。該設備非常適合不斷變化的客戶需求和各種應用。它可以在客戶現場輕松安裝,並得到服務團隊的全面支持。AUGUST XPORT是一個精密的掩模晶片檢測系統，用於精確和高分辨率的數據采集。它提供了一個先進的成像和照明單元，XY和Z軸分期，高速視覺電子。借助直觀的數據分析和顯示軟件，它提供了市場上最高效的掩模和晶圓檢測系統之一。
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