二手 RUDOLPH TECHNOLOGIES AXI-940 #293651546 待售

RUDOLPH TECHNOLOGIES AXI-940
ID: 293651546
Macro wafer inspection system.
RUDOLPH TECHNOLOGIES AXI-940 Mask&Wafer Inspection Equipment是一種多光束步進和重復系統,設計用於高通量和高精度的Mask和Wafer Inspection。該單元利用多個獨立的光束來分析更大範圍的模具尺寸和層,最大限度地提高檢查覆蓋面和吞吐量。利用超快速模式識別和自動缺陷檢測功能,AXI-940能夠快速識別和隔離缺陷,從而幫助減少與檢查和維修相關的過程周期和成本。RUDOLPH TECHNOLOGIES AXI-940 Mask&Wafer Inspection Machine配備了多個獨立的光束和分辨率、磁場大小和訪問角度選項。在生產任何商用平板顯示器設備時,這可實現最大的靈活性和檢查範圍。現場尺寸從1mm到4mm, AXI-940非常適合當今復雜的設計需求。用於邊緣跟蹤、映射或打印文檔的多種光學配置和可選附件進一步提高了工具的靈活性。RUDOLPH TECHNOLOGIES AXI-940提供出色的缺陷覆蓋,缺陷孔徑低至2.5微米。這種高分辨率允許對設計功能進行最全面的覆蓋,並確保最大限度地檢測所有潛在缺陷。此外,該資產還具有高速運行功能,每秒最多可執行1000個X-Y步驟,為用戶提供了更好的吞吐量。除了AXI-940傳統的亮場檢測能力外,還有幾種可選的檢測技術。其中包括暗場照明、相移技術、3-D探針校正以及可編程焦點控制技術。RUDOLPH TECHNOLOGIES AXI-940還提供柔性控制,以補償高達5.0%的寬度和10.0%的長度譜變化。AXI-940 Mask&Wafer檢驗模型非常適合任何生產環境,提供快速、可靠的性能和最高質量的結果。該設備易於操作和維護,具有運動同步和自動校準等特點,可保持高精度和圖像均勻性。該系統還可以持久使用,具有耐用的部件和堅固耐用的鋼結構,以經受長期使用。RUDOLPH TECHNOLOGIES AXI-940 Mask&Wafer Inspection Unit是當今高速生產環境的完美解決方案。具有卓越的精度、速度和靈活性,AXI-940保證了高質量和方便的生產.通過消除停機時間和提高效率,該機器有助於將成本降至最低並最大限度地提高盈利能力。RUDOLPH TECHNOLOGIES AXI-940性能可靠,操作方便,是任何掩模和晶圓檢測要求的理想選擇。
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