二手 SDI SPV / PDM 3020-P #138848 待售

SDI SPV/PDM 3020-P Mask&Wafer Inspection Equipment （SDI SPV/PDM）是一種綜合自動化工具,用於在光掩模級別檢查矽片。該系統旨在提供無與倫比的精度和準確性，用於檢測矽晶片上的線緣粗糙度和微短度等缺陷。SPV/PDM 3020-P可以精確測量晶圓地形、覆蓋目標和監控光刻工藝變化。該設備具有先進的功能,包括自動臨界尺寸（CD）測量、自動缺陷識別和激光幹涉測量自動缺陷隔離。這些特性提供了更好的工藝控制和提高產量。SDI SPV/PDM 3020-P可以檢測到廣泛的缺陷，如線緣粗糙度、邊緣拉槽、掩模場變化、模式偏移、錯位、其他形狀畸形、微短褲等。該機器的制造具有許多優點，以支持與面具相關的過程監測。例如,3020-P支持使用各種軟件包進行內聯和後晶圓處理。這樣可以快速評估光刻工藝的偏差、精確的叠加和臨界尺寸測量。它還包括針對不同類型掩碼的獨特控制算法，包括臨界維度層、局部CD層、精確特征匹配和叠加、高能臨界維度SAR（信噪比）和高精度光學CD。SPV/PDM 3020-P的設計可提供高達90nm的極高分辨率計量。它具有很高的吞吐量速率，允許它每小時最多檢查兩個晶圓，並支持300 mm的最大晶圓尺寸。該工具也是高效的，需要最少的操作員幹預，並具有一個直觀的界面，以便於操作。該3020-P非常適合生產環境、口罩店和研發應用。該資產的規模也很小，重量僅為250公斤，使用5,000小時的MTBF非常可靠。它的工作溫度範圍可以從18到28°C調整，濕度範圍從10到90%。歸根結底,SDI SPV/PDM 3020-P提供了卓越的性能、簡單的操作和高效率,使其成為以最高精度自動化生產精細線型光掩碼的絕佳選擇。