二手 SEMILAB / SDI FAaSt 230 DP+SPV #293811109 待售

SDI FAaSt 230 DP+SPV是一種掩模和晶片檢測設備，用於在制造過程中檢查掩模、晶片和其他光學器件組件。該系統設有自動化檢查階段和自動化單元，能夠處理各種各樣的工件和不同的檢查。該機器采用23英寸TFT-LCD雙視圖顯示器和標準可編程邏輯控制器（PLC）,可幫助優化刀具的工作流程。檢測階段由SEMILAB專屬動態晶圓中心驅動，允許精確定位和舞臺運動。資產還使用集成的視頻傳感器，可以進行精確的圖像分析以及晶圓和掩碼識別。該型號擁有一個用於精確面罩對準的自動蔡司適配器，一個NA為0.19的檢查物鏡和濾鏡，以及一個高速掃描數字電子設備，用於速度和精度。該設備配備了一個強大的光源，能夠輸出高達20W的光，以便對20 nm以下的特征進行有效檢查。它還具有允許視覺缺陷查看、圖像分割和圖像處理的軟件。它還支持眾多的圖像分析算法，如圖像過濾、圖像減法和圖像配準，以及一些統計和形態參數，如對比度、清晰度和缺陷面積大小。該系統能夠執行各種掩碼和晶片檢查任務,如掩碼邊緣檢查。這些檢查包括使用高功率顯微鏡檢測口罩邊緣的異常，包括缺陷和圖案錯誤。該單元還能夠提供準確、可重復、可靠的缺陷分類和3D缺陷體積測量。該機還包括用於SPV（掃描探針顯微鏡）檢查的特定工具。軟件支持高級數據分析,並能夠測量掩模或晶片表面上的小結構。該工具具有多種用於數據收集、事件控制、分析和可視化的功能。最後,SEMILAB/SDI FAaSt 230 DP+SPV是一種通用的掩模和晶圓檢測設備,旨在以更高的運行速度提供準確、可重復和可靠的結果。該型號融合了23英寸TFT-LCD雙視圖顯示屏、標準可編程邏輯控制器（PLC）、集成視頻傳感器、用於精確掩模對準的自動蔡司適配器、大功率光源、檢測物鏡、濾鏡、高速掃描數字電子。它還擁有一套功能強大的軟件工具，能夠實現有效的圖像分割和圖像處理，以及各種圖像分析算法。該設備能夠執行大量的掩模和晶片檢查任務，包括掩模邊緣檢查和SPV（掃描探針顯微鏡）檢查。