二手 SEMILAB / SDI FAaSt 300 #9358711 待售

SEMILAB / SDI FAaSt 300
ID: 9358711
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
System, 12" 2005 vintage.
SEMILAB/SDI FAaSt 300是一種掩模和晶圓檢測設備,旨在為半導體器件提供精確的成像、檢測和計量。該系統設計用於以高達3.6um的分辨率處理多達300 mm的晶圓。該設備能夠檢測到常規檢查方法無法檢測到的缺陷。SDI FAaSt 300利用雙照相機,使其能夠大量成像各種樣本量。這樣可以提高吞吐量,同時確保準確性和精確度。該工具可以分析小至3.6um的特征,並能夠檢測各種類型的晶片缺陷,包括:汙染物、位錯、顆粒、劃痕、針孔和其他微缺陷。SEMILAB FAaSt 300使用專門的光學和成像軟件,以確保在苛刻的生產線中獲得最佳的圖像質量。它包括用於低kV和高kV曝光的光學資產,以及一個專門用於特定應用的成像軟件,以確保檢查區域的精確對準。FaaSt 300集成了幾種計量功能,包括掃描和形狀識別、模式檢測和缺陷分析。它還提供了若幹自動化分析和報告工具,以便能夠對保存的檢查數據進行快速和徹底的分析,供今後參考。該模型還提供用於測量二維和三維成像的測量設備和運動控制,以及樣品操作。其用戶友好的軟件界面簡化了操作,便於精確測量和檢查大型模具和晶片。為了跟上大批量需求,SEMILAB/SDI FAaSt 300包括高速晶片傳輸設備以及允許在一個單元內同時檢查和測量多個晶片的自動化裝載系統。此外,該計算機還包含一個軟件,該軟件可連續更新晶圓缺陷信息並在其報告中進行顯示。SDI FAaSt 300設計用於高需求量的生產設置,為精度、可靠性和速度而打造,使其成為檢查非常大和復雜的半導體器件的完美檢測工具。
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