二手 SEMILAB / SDI FAAST 330A #9382822 待售

ID: 9382822
優質的: 2004
Measuring system Surface Photo Voltage (SPV) Does not include robot Optic signal device non functional 2004 vintage.
SEMILAB/SDI FAAST 330A是一種最先進的掩模和晶片檢查設備,設計用於自動晶片檢查和後續測量。先進的自動化軟件有助於識別晶圓和掩模上的問題區域,並將其定位到各種幾何形狀,達到納米分辨率。系統配備兩臺垂直CCD攝像頭,提供無與倫比的圖像對比度和圖像捕捉分辨率。這些照相機也被設置為捕捉具有各種比例(3-5µm/pixel)的圖像,用於檢查各種類型的結構。這使操作員可以輕松地從檢查小型結構切換到大型結構。該單元還包括兩個垂直測量傳感器。傳感器有兩種分辨率級別(分別為0.4 µm和1.2 µm)。它們用於精確測量所檢查結構的垂直幾何形狀。此外,還提供結構的傾斜測量,分辨率為0.1°。SDI FAAST 330A的精確光學對準可實現簡單快速的晶圓叠加對準以及同時捕獲和測量。自動晶圓對齊工具確保捕獲的所有圖像都與晶圓精確對齊。此外,機器還包括數據管理和過程控制(DMPC)軟件。此尖端軟件允許操作員從單個控制點控制整個刀具過程,從而簡化了檢查和編輯過程。最後,SEMILAB FAAST 330A具有內置的自動校準資產,可驗證模型的準確性並提供任何潛在問題的反饋。然後使用反饋創建一個全面的報告,其中包含所有需要調整的參數,以保持最佳準確性。FAAST 330A是一個可靠和全面的面膜和晶圓檢驗設備.它的自動化和精確的功能使得它成為專業的面膜和晶圓檢查的理想選擇在多個幾何形狀和材料。
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