二手 SEMILAB / SDI FAaSt 350 #9236853 待售

SEMILAB/SDI FAaSt 350是一種自動化的掩模和晶圓檢查設備，使用先進的顯微鏡和光學成像技術來檢測IC制造的缺陷和變化。該系統能夠檢查光刻口罩、晶片和標線，分辨率可達亞微米。適用於廣泛的應用，包括拋光面膜和晶片，以及高精度的測量和對圖案匹配和尺寸特性的分析。該單元由計算機控制單元和數字成像機組成，具有可移動的舞臺，可容納直徑可達350毫米的樣品。成像工具包括綠色激光幹涉測量和紅綠藍激光成像等先進光學技術。這允許對掩模和晶片材料進行非侵入式檢查，以及精確的3D表面分析。該資產還配備了共聚焦顯微鏡，能夠自動檢測和測量微觀和納米級特征。對於測量圖樣,SDI FAaSt 350還包括一個用於高精度圖樣測量的光學幹涉儀,能夠檢測大約40 nm的寬度或高度變化,分辨率低至10 nm。此外，該模型能夠測量具有高度精度和速度的其他尺寸特性。SEMILAB FAaSt 350與SDI SP3D檢查軟件集成在一起,實現了快速高效的缺陷表征。該設備還兼容了幾種模式匹配算法和一系列光學顯微鏡分析協議，從而實現了流程的高效自動化。此外,該系統可用於缺陷修復和掩碼制作過程,並包括一個安全、高效和用戶友好的界面,可與CAD、SEM和PLM工具合並。總之，FaaSt 350是一種先進、可靠的掩模和晶片檢測裝置，能夠利用先進的光學成像技術檢測細小缺陷和變化。該機既適用於面膜也適用於晶圓檢驗，可廣泛用於一系列計量和檢驗過程。SP3D的檢測軟件和高精度的模式測量功能使該工具成為掃描、檢查和分析掩模和晶片的理想解決方案。