二手 SEMILAB / SDI FAaSt 350 #9245382 待售
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已售出
ID: 9245382
晶圓大小: 12"
優質的: 2013
Wafer characterization system, 12"
Process: Contamination measurement
With power transformer / line conditioner
Stand alone
Dual FOUP robotic wafer load system platform, 12"
Platform: Robot / Pre-aligner
(2) BROOKS Vision loadports
Mini-environment
SEMI E87 Communication capability
2013 vintage.
SEMILAB/SDI FAaSt 350是一種可靠且經濟實惠的掩模和晶圓檢測設備,可用於多種應用。該系統配備了用於晶片處理的動態卡盤,具有六個自由度的高級光學設計以補償錯位誤差,以及一個用於捕捉樣品圖像的高分辨率相機。該單元可精確測量關鍵尺寸、邊緣、配準標記、CD、占空比和詳細特征檢查。它還提供了精確的晶圓對準和廣闊的視野,用於精確的區域測量,從而能夠對關鍵的模式缺陷進行高精度的分析。該單元創新的光學設計由一臺具有衍射受限視場的非球面透鏡機組成,提供最佳性能。此外,獨特的設計允許在樣品寬度上進行更快速的映射,從而提高吞吐量和準確性。集成式飛利浦光源照明確保了整個視野的均勻照明。此外,該單元還具有獨立的掃描和曝光速度調節機制,提供了更大的靈活性。此外,SDI FAaSt 350配備了精密的圖像處理軟件,以確保高精度和可重復性。軟件的精確算法支持全面的測量,包括跨CD、間距、占空比、節點長度、線寬和定位標記對齊方式的測量。而且,內置的、用戶友好的界面使得操作機器變得簡單直觀。該工具具有幾個突出的功能,包括獲得專利的無掩模剝膜資產、獲得專利的帶有傳感器的捕獲技術,以及獲得專利的光學重建算法,允許在整個視野中進行詳細和結構化的分析。此外,該單元的模塊化設計使用戶能夠交換或升級組件,從而允許用戶自定義模型以滿足其個人需求。SEMILAB FAaSt 350是一款驚人的掩模和晶圓檢測設備,結合了強大的光學和精密的圖像處理算法,提供精確的測量。它提供了最佳性能和快速吞吐量,使其成為任何應用程序的絕佳選擇。
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