二手 SEMILAB / SDI PV-2000A #9389454 待售

SEMILAB/SDI PV-2000A是一種計算機控制的自動掩模和晶片檢查設備，旨在滿足臨界光刻檢查的先進要求。SDI PV-2000A平臺執行光學檢查和電氣測試。它是一個高通量系統，每小時最多可以同時檢查和測試2000個晶圓或掩碼。該機提供對光掩模和晶片特征的深入檢查，如接觸孔、線寬、叠加精度、蝕刻輪廓缺陷等。SEMILAB PV-2000A配備了6 「x6」高分辨率激光投影單元、高精度視覺機以及先進的圖像處理算法。該工具根據幹涉條紋的光場強度剖面,對激光幹涉晶片進行CEMI（對比度估計模式幹涉）檢查。該資產通過將來自反相幹光源（來自兩束激光束的散射光）的光波和輻射波相結合，制作出幹涉圖樣，並將圖樣與預設參數進行比較。當發現缺陷時，使用集成像素傳感器進行測量的準確性允許進行亞微米評估。PV-2000A先進的光斑檢測程序能夠檢測到最小的表面缺陷。該機還配備了自動模式識別和智能搜索算法，能夠對缺陷進行快速搜索、檢測和表征。此外，該模型還裝有一個自動聚焦模塊，確保了接觸孔的可靠檢測，甚至高達1微米的精度。該設備還具有集成的自動化電氣測試系統，執行各種測試，如電阻、電容和擊穿電壓。自動化電氣測試單元使用按下接觸探針和專用測試線束來執行異常快速、高精度的測試。SEMILAB/SDI PV-2000A是一種全自動機器,它簡化了檢查過程,並以最小的人工幹預顯著提高了吞吐量。獨立的工具與許多類型的晶圓制造設備完全兼容，如抗蝕劑微調、等離子體蝕刻器、註塑等。